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Catalogue HAM-LET

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Demande technique

Service de COT

Processus de nettoyage U.H.P.

 
 
 
 
 

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

Présentation de la technologie ultra propre (UCT)


Le processus de nettoyage ultra propre de Ham-Let (UTC pour Ultra Clean Technology) décrit un nettoyage à ultra haute pureté (UHP pour Ultra High Purity) qui représente une approche complète pour produire des composants très purs pour des systèmes à fluides. Le processus comprend cinq parties interdépendantes. Fonctionnement propre, nettoyabilité, purgeabilité, génération minimale de particule par le fonctionnement, et pas de zones de piégeage. Ham-let préserver l'intégrité du concept tout au long des autres processus comme la fabrication, le nettoyage, la vérification et l'emballage.

Voici les détails de la spécification :

  • Spécifications produits et processus
  • Contrôles des processus et traitement
  • Vérification du processus
  • Tests des produits

Lorsque les limites de fonctionnement ont été déterminées, elles sont mentionnées. Les processus sont suivis pour assurer leur homogénéité, et pour générer des données nécessaires aux spécifications futures. Les produits, processus et contrôles Ham-Let sont améliorés en permanence, conformément à la spécification qui définit le processus actuel. Ham-let améliore les technologies pour répondre à l'évolution des besoins du secteur de l'UHP (Ultra High Purity) des industries des processus, et les spécifications sont révisées en rapport.

Caractéristiques du produit

Acier inoxydable : ASTM A276 et A479 à composition contrainte :


Type

Carbone %

Soufre %

 316 L

 0,030 max

 0,020 à 0,030

 316 L VAR ou VIM/VAR

 0,010 à 0,020

 0,008 max


La micropropreté JK des matériaux VAR ou VIM/VAR est suivie conformément à la norme ASTM E45.

Fini de surface : 2 désignateurs de processus, H et E.


PROCESSUS « H »

PROCESSUS « E »

 Fabrication surveillée par SPC
  (Statistical Process Control)

 Fabrication surveillée par SPC
  (Statistical Process Control)

 

 Polissage interne spécial.

 

 Électropolissage de surface mouillée

 Nettoyage

 Nettoyage final en salle propre


Voir les données dans le catalogue Ham-Let.


Électropolissage : rapport atomique chrome sur fer égal ou supérieur à 1,5 pour les premiers 25 Å de la couche de surface. Tests réalisés par Semaspec 91060573B.

Caractéristiques du traitement UCT


Lorsqu'un processus ou matériau est désigné, il fait référence aux caractéristiques ci-après :

Salles propres : salles, zones de travail et fours de classe 10. Les zones sont validées chaque trimestre selon le Federal Standard 209E.

Eau désionisée : Résistivité finale contrôlée à 18 MΩ.cm. Autres facteurs surveillés pour garantir des processus homogènes :

  • Résistivité intermédiaire
  • Bactéries
  • Particules
  • Silice

Système de nettoyage par ultrasons


Les système de nettoyage par ultrasons est également surveillé aux niveaux suivants :

  • Température de l'eau désionisée pour chaque station de traitement humide
  • Température du processus de séchage
  • Résistivité de l'eau désionisée lors du rinçage final à ultrasons
  • Puissance de sortie du générateur d'ultrasons

Hélium :propre, sec et filtration 0,02 µm.

Séquence de traitement


Analyse des matériaux


Les produits Ham-Let sont faits de matières premières répondant à des normes strictes. Leur analyse chimique et leurs propriétés mécaniques dépassent les exigences de la norme ASTM. Pour éviter la précipitation de carbures lors des soudures, on utilise des matériaux à faible teneur en carbone. De même, le taux de soufre est contrôlé de près pour assurer des soudures homogènes. Certains raccords et corps de vannes sont faits en acier inoxydable VIM/VAR qui contient encore moins de soufre. Le but est de réduire la présence d'inclusions, d'améliorer les surfaces qui subiront un électropolissage, et surtout d'éliminer les défauts de surface. Chaque série d'acier inoxydable VIM/VAR est vérifiée par une méthode basée sur la norme ASTM E45, qui utilise un examen métallographique standard par microscope électronique à balayage, pour déterminer l'indice aux grossissements 100x et 1000x

Fabrication surveillée par SPC (Statistical Process Control)


Le fini de surface, les dimensions et diverses autres caractéristiques des raccords et vannes sont réglementés par Ham-Let via SPC, un contrôle statistique du traitement. Plutôt que d'inspecter les produits finis, SPC assure la surveillance continue des pièces pour vérifier qu'elles répondent aux spécifications. SPC est donc une approche préventive permettant à Ham-Let de détecter rapidement des changements dans la fabrication susceptibles d'affecter les produits, afin d'appliquer les ajustements nécessaires pour éviter de fabriquer des pièces défectueuses. Cette surveillance « en ligne et en temps réel » garantit des produits plus homogènes et fiables, une production plus efficace et un meilleur tarif, cas le coût caché des problèmes de production n'a pas à être répercuté sur les clients.

Fini de surface


La qualité du fini de surface garantit que les pièces nettoyées fonctionneront comme prévu. Il s'agit notamment de s'assurer que le dispositif peut être purgé rapidement et nettoyé complètement, évitant de piéger ou d'accumuler des particules étrangères. Ham-Let utilise le processus SPC pour contrôler le fini de surface durant la fabrication, avec une rugosité maximale moyenne de Ra max. Les pièces finies sont examinées avec soin. La norme ANSI/ASME B.46.1 est appliquée pour mesurer la rugosité.

Les mesures sont sur chaque alésage du raccord ou de la vanne, sur la plus grande longueur disponible, mais pas sur les surfaces coniques, les intersections ou les soudures. Certains composants de raccords, plus longs, peuvent avoir une variation minimale du diamètre interne. Deux traitements de fini de surface sont disponibles : « H » et « E ». Les valeurs Ra max moyennes et maximales pour des échantillons de production des produits U.H.P. sont indiquées dans le catalogue HTC.

Électropolissage


L'électropolissage est utilisé pour les surfaces internes des raccords et pour les corps des vannes. Il donne une couche de surface résistant à la corrosion, passivée et constituée d'oxyde de chrome. Après fabrication ou chaque traitement mécanique, la séquence suivante est appliquée aux produits U.H.P. nettoyés :

  • Pour une surface uniforme, les dispositifs UHP sont pré-nettoyés
  • Électropolissage et rinçage à l'eau désionisée
  • Si nécessaire, passivation et rinçage à l'eau désionisée.

Référence : SEMI F19-95.

Nettoyage et séchage à l'eau désionisée


Le nettoyage final est la touche cruciale pour obtenir une pièce UHP parfaite. C'est pourquoi Ham-Let applique un nettoyage à l'eau désionisée avant l'assemblage, les tests et l'emballage des produits. Les pièces UHP passent directement de la production à un processus de rinçage à l'eau désionisée, en plusieurs étapes. Ensuite, ils subissent un rinçage à l'eau désionisée à grande vitesse, dans une salle propre de classe 10. Processus de nettoyage UHP : L'excès d'humidité est éliminé à l'azote. Les raccords sont ensuite séchés dans un four de classe 10.

Référence : SEMI E49.2-0298.

Assemblage, tests et emballage de classe 10


Suite aux procédures strictes de production, les pièces UHP passent sur des postes de classe 10, dans une salle propre de classe 10, où elles sont assemblées, testées et emballées, évitant tout risque de contamination par l'air. Pour éviter toute contamination, Ham-Let utilise des sacs internes en nylon, et un sac externe en polyéthylène pour obtenir un emballage solide.

Emballage des raccords : Le sac interne est scellé sous vide pour empêcher toute contamination et éviter qu'il ne soit coupé par le raccord. Le produit est calé dans la boîte.

Généralités


Ham-Let utilise également des méthodes de test ASTM de type SEMATECH (SEMASPEC) pour vérifier aléatoirement des échantillons des lots de production. Ces méthodes sont basée sur des normes du secteur et fournissent des données fiables, qui peuvent servir à d'autres contrôles du traitement.

Analyse de surface


L'analyse SEM/EDX (rayons X à dispersion d'énergie) sert pour étudier des échantillons de production (car l'analyse de surface de fait pas partie des mesures de rugosité de surface). Ce processus utilise un système standardisé de paramètres pour garantir l'homogénéité des résultats. Les surfaces des échantillons sélectionnés au hasard sont examinées à un grossissement de 3600. Les méthodes de test sont basées sur les normes ASTM F1372 et ASTM F1375. Les défauts de surface sont comptés, mesurés et analysés par SEM. AU besoin, le matériau de base et toute inclusion ou contamination peut être identifié par EDX.

Composition de surface


L'analyse par spectroscopie électronique Auger (AES) sert à vérifier la présente de la couche passivée d'oxyde de chrome, résistant à la corrosion. La méthode de test utilisée est la SEMSPEC 91060573A-STD. L'analyse AES mesure la présence de fer, chrome, carbone, oxygène et nickel. Pour les 100 Å (10 nm) sous la surface, le rapport atomique chrome/fer doit être supérieur ou égal à 1,5. Pour vérifier les processus de nettoyage et de rinçage, on vérifie la présence en surface des contaminants suivants :
calcium, sodium, phosphore, chlore, soufre et oxyde de silicium.

Analyse de l'humidité


Ham-Let utilise un test de dégazage de l'humidité très sensible (0,1 ppM) pour surveiller la qualité des processus de séchage. Les tests ont lieu dans une enceinte sèche et contrôlée, qui subit une purge permanence à l'azote ultra propre pour éviter toute contamination. L'azote passe dans le composant testé au débit de 1 std L/min avec une pression de 30 psi (2 bar) (conformément à l'ASTM F1397), suivi par une séquence d'étuvage après refroidissement de la pièce testée.

Test de détection de fuite d'hélium


Ham-let teste les fuites avec un hélium ultra propre conformément à la norme ASTM E98, méthode A. Les produits UHP sont testés dans un environnement de classe 10.

Raccords HTC Les échantillons sont testés à l'hélium après assemblage pour vérifier une étanchéité de 3 x 10-11 std cm3 /s.

Test de contribution aux particules


Les tests conduits par Ham-Let sur les raccords montent au plus 4 particules de 0,01 micromètre ou plus (mesure par un compteur de particules).
Les tests se font selon la norme Semaspec 90120390 B.

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Gamme d'actionneurs pneumatiques (HPA)

Les ingénieurs, concepteurs et fabricants concernés par la conception des flux et vannes doivent comprendre les aspects et les processus liés à l'utilisation d'un produit particulier.
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